LAUDA POU

LAUDA-Noah SemistatThermoelektrische Prozessthermostate von ?20 bis 90 °C für die Halbleiterindustrie Schnelle und präzise Temperaturregelung für anspruchsvolle ProzesseBasierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA-Noah Semistatreproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen. Durch dynamischeTemperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte mit allenArten von Ätzprozessen eingesetzt werden. Energieeffizient, platzsparend und mit stabilerTemperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellungimmer kleiner werdender Bauteile.Rundum sparsam: Semistat Temperiersysteme verringern gegenüberkompressorbasierten Systemen den Energieverbrauch um bis zu 90 %.Minimaler Verbrauch von Reinraum wird durch kompakte Bauweise undoptionale Unterflurinstallation am Point-of-Use ermöglicht.